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产品简介
超洁晶圆打码机WM-SC1200FOUP是专业化的全自动晶元激光打标专用设备，分别适用于8〞- 12〞晶元的Wafer Marking作业。
• 适用于Si,Ge,SiC,GaN,InP,Sapphire,Quartz等
• 适用于wafer ID打码及晶圆级封装打码
• 配备 SEMI OCR 及 2D MATRIX 字体
• 可选Hard Marking或Soft Marking
• 用户可选的CHECKSUM功能
• 配备FOUP LOADPORT
• 可选配SMIF LOADPORT
• 可选配无接触式机械臂
• 可选配背面打标功能
• 适合净化间使用
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